第428章 EUV技术 大学刚毕业,你让我接手工厂?
森田弘一盯著面前那杯早已凉透的茶水,指尖在杯沿轻微摩挲。
九十纳米量產,这四个字像是一记闷棍,打碎了日系厂商最后的矜持。
他和岩本俊德交换了一个眼神,那是种在时代浪潮面前感到无力的挫败。
尼康和佳能曾是光刻机领域的双子星,在乾式光刻时代,全世界都要看他们的脸色。
可现在,台积电、东芯国际,甚至异军突起的雷霆晶片,全都倒向了阿斯麦倡导的浸没式阵营。
森田弘一清了清嗓子,声音有些乾涩。
“马总,张总,你们的建议牵扯到公司的根基。尼康需要进行严密的內部评估,这包括技术路径的重构和市场风险的评估。”
岩本俊德也跟著表態,佳能的情况类似,这种战略级的转向,不是我们几个人在魔都能拍板的。
马宇腾换了个更鬆弛的坐姿,他知道这两人已经心动,剩下的只是脚盘国企业骨子里的那点固执在作祟。
“理解。”他敲了敲桌面,语气平淡。
“但市场的窗口期很短。阿斯麦的浸没式设备已经在台积电和我们的厂房里运转,留给你们的时间不多了。”
会议室陷入了短暂的沉默。
马宇腾没打算在浸没式的话题上死缠烂打,他话锋一转,拋出了另一个更深远的问题。
“既然聊到未来,我很好奇,两位对极紫外光,也就是euv光刻技术怎么看?”
他在穿越前经常在科技相关的新闻里看到这个名词,知道这是代表了光刻技术未来发展的方向。
提到euv技术,岩本俊德的脸色瞬间阴沉下来,像是被揭开了陈年伤疤。
他靠在椅背上,自嘲地笑了笑。
“euv啊,那是个烧钱的无底洞。九十年代末,英特尔牵头成立了euv-llc联盟,集合了摩托罗拉、amd这些花旗国巨头。当时佳能主动请缨,想加入技术研发。结果呢?”
岩本俊德摊开手,语气里透著一股子怨气。
“花旗国政府以国家安全为由,把我们挡在大门外。最后反倒是阿斯麦这个欧罗巴公司捡了便宜,拿到了全套技术授权。听说他们的原型机已经快捣鼓出来了。”
森田弘一对此却嗤之以鼻。
“那台原型机我也略知一二。说它是光刻机,不如说是个昂贵的实验室摆件。”
“euv的波长对任何物质都是灾难,哪怕是空气都会吸收能量。光源效率低得令人髮指,曝光一片晶圆的时间居然要按『天』来计算。”
他越说越激动,甚至带上了一点技术专家的傲慢。
“还有掩模版的问题,euv会放大任何微小的瑕疵。一颗灰尘就能毁掉整个晶圆的良率。”
“在我看来,这些工程难题十年內都无解。”
“与其赌一个虚无縹緲的未来,不如继续深耕duv光源。只要把数值孔径和多重曝光做到极致,十纳米製程也不是没有可能。”
岩本俊德深以为然。
euv系统太复杂了,真空环境、反射镜组、高功率雷射,每一个环节都是在挑战物理极限。
短期內,它不具备商业化的价值。
马宇腾看著这两位侃侃而谈,心里却有些明悟。
他终於明白,为什么在前世的记忆里,尼康和佳能最终会在高端光刻机市场彻底消失。
他们太迷信自己在光学领域的积累,试图用战术上的精进,去对抗战略上的代差。
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