研討会开始了。

一位头髮花白的领导简单致辞后，各个项目组开始轮流上台报告。

有研究新型合金材料的，有攻关生物基因工程的，还有设计新一代运载火箭发动机的……

每一个项目，都代表了华夏科技的最高水平和未来方向。

付成听得心潮澎湃，也感到了前所未有的压力。

跟这些项目比起来，他们那个连零件都还没凑齐的课题组，实在太“寒酸”了。

终於，轮到他们了。

“下一位报告人，华清大学精密仪器系，钱立人教授。报告题目：《一种基於脉衝多极磁场解耦控制的等离子体刻蚀技术新构想》。”

钱立人教授深吸一口气，走上讲台。

他先从宏观上介绍了国內半导体產业的困境，以及传统刻蚀技术的瓶颈。

隨后，他话锋一转：“面对这些困难，我们课题组，提出了一条全新的技术路线。具体的理论模型和仿真结果，將由我们课题组的核心成员，付成同学，来向大家介绍。”

付成坦然地走上讲台，没有丝毫的紧张。他將一张张仿真图和数据表，通过投影仪展示在幕布上。

“……传统的ccp和icp技术，其核心矛盾在於等离子体密度与离子能量的耦合。也就是说，你想提高刻蚀速率，就必须增加功率，但这同时也会提高离子轰击能量，损伤晶圆。我们称之为『左脚踩右脚』的困境。”

“而我们的方案，核心思想只有一个词——解耦。”

“我们通过外部施加的高速脉衝多极磁场，將等离子体『抓』起来，约束在一个特定区域。同时，我们通过独立控制晶圆基座的射频偏压，来精確调节轰击晶圆的离子能量。这就好比，我们用一只手控制『子弹』的数量，用另一只手控制每一颗『子弹』的威力。两只手，互不干扰，独立调节……”

台下的专家们，都是顶级聪明人，立刻就听懂了这套“解耦”思想的顛覆性所在。

报告结束后，坐在第一排的一位戴著金丝眼镜的老院士，率先举起了手。

“小同志，我有一个问题。你的理论非常精彩，但磁场约束等离子体，是核聚变领域才用的技术，极不稳定。你们如何解决『磁镜像效应』和『漂移不稳定性』带来的等离子体逃逸问题？”

付成微微一笑，按下了投影仪的下一页。

幕布上，出现了一套复杂的、基於“二级绝热不变量”的约束方程。

“这位前辈，您问得非常好。这个问题的答案，我们要感谢一位物理学天才的启发。”他看了一眼角落里的叶文洁，“我们並没有试图完全『消灭』逃逸，而是通过这套『动態校正算法』，在每个模擬步长中，对逃逸概率进行补偿。就像一个水桶，我们不是把所有的洞都堵死，而是在旁边放了一个水龙头，漏多少，就补多少，从而实现一种动態的平衡……”

他的回答，让那位老院士露出了满意的笑容。

然而，就在这时，会场后排，一个声音响了起来。

“理论说得天花乱坠，仿真图画得再漂亮，也只是纸上谈兵。请问付成同学，你们的原型机在哪里？你们的实验数据在哪里？据我所知，你们连一块像样的晶圆都没刻出来过吧？”

付成循声望去，只见华清大学行政总办的王副主任，正抱著手臂，一脸讥讽地看著他。

王副主任身边，还坐著一个西装革履的中年人，眼神锐利。付成注意到，他的胸牌上写著——东方工业集团，投资部总监，刘胜利。

刘进的亲戚？付成心里一动。

王副主任见付成不语，笑得更得意了：“各位专家领导，据我了解，这个项目连学校的正式立项都还没通过，经费都还没拿到。一个连学校內部都无法取得共识的『构想』，就拿到国家级的研討会上来，是不是太儿戏了？这不是在浪费各位宝贵的时间吗？”

会场里，开始响起窃窃私语。

是啊，没有实物，没有数据，说得再好听，也只是空中楼阁。

就在这尷尬的时刻，礼堂的大门突然被推开了。

一个穿著军绿色旧大衣，身材高大，面容坚毅的老者，在一群人的簇拥下，大步走了进来。

“谁说这个项目没有得到支持？”老者的声音洪亮如钟，“我今天来，就是要告诉大家，这个项目，我们军工『863』计划的专家组，原则上通过了！”

他转向付成，露出一丝微笑。

“付成同志，还记得我吗？我是马智文的老领导，陈建国。”