“曲率引擎？那是什么东西？”

“科幻小说里看来的吧？这小子想干什么？”

台下响起一阵窃窃私语。

孙建华的眉头皱了起来，他敲了敲桌子：“付成同学，请不要用这些譁眾取宠的比喻来混淆视听！我们现在要听的是事实报告！”

“孙主任，我接下来要讲的，就是事实。”

付成转过身，拿起粉笔，在巨大的黑板上写下两个词。

“追赶”与“超越”。

“我们和霓虹国在半导体领域的差距，在座的各位老师比我更清楚。我这次去，亲眼看到了索尼的0.8微米生產线，看到了他们对euv光源的前瞻性研究。这个差距，不是五年十年，而是可能长达二十年，甚至三十年。”

“如果我们亦步亦趋，跟在他们后面，用深紫外光刻技术，从1微米追到0.8微米，再到0.5微米……我们永远都只是追赶者。他们吃肉，我们最多喝口汤，甚至连汤都喝不上。”

一个戴著眼镜的老教授举手提问，他是孙建华请来的化学系专家，姓王。

“付同学，你的意思是，我们应该放弃现有成熟的技术路线？这未免太异想天开了。科研要脚踏实地。”

“王教授，我不是说放弃，而是说，我们应该在脚踏地的同时，抬头看看另一条路。”

付成在黑板上，画了一个简易的原子结构图。

“大家都知道，光刻的精度，取决於光源的波长。紫外光的极限就在那里。但如果我们换一种『光』呢？”

他用粉笔重重地点在原子核的位置。

“用高能粒子束，轰击原子，使其內层电子跃迁，从而释放出的能量。那不是紫外光，而是波长短上几百倍的——软x射线！”

“x射线光刻！”

台下的钱立人教授眼睛猛地一亮。

这个概念並不算完全新鲜，在一些前沿论文里有过提及，但都认为是几十年后的技术，太过遥远。

孙建华冷笑一声：“x射线？付成同学，你知不知道產生稳定、高强度的x射线源有多困难？这比搞深紫外光源难上百倍！你的想法，根本没有工程实现的可能性！”

“是的，常规手段很难。”付成坦然承认，“但谁说我们一定要用常规手段？”

他擦掉黑板上的图，开始画一个新的、极其复杂的装置示意图。

“我在一本很老的苏联物理笔记上，看到过一个有趣的现象，叫做『z箍缩』。”

“通过在极短时间內，向环形等离子体注入超强电流，利用洛伦兹力，可以將等离子体瞬间压缩到极高的温度和密度。在这个过程中，它会释放出无比强烈的软x射线脉衝。”

“这，就是我们的『曲率引擎』！”

整个会场，安静了下来。

“z箍缩”这个词，对在场绝大多数人来说，都太过陌生和遥远。

这是属於可控核聚变前沿物理学的范畴。

用一个搞核聚变的东西，来做晶片光刻？

这脑洞开得也太大了！

孙建华旁边的另一位物理系专家，张教授，忍不住开口了。

“胡闹！简直是胡闹！z箍缩现象极度不稳定，能量释放难以控制，就像是在晶片上引爆一颗微型炸弹！你这是想刻蚀晶片，还是想摧毁晶片？”

付成似乎早就料到会有此一问。

“张教授，您说得对，传统的z箍缩確实不稳定。但，如果这种『不稳定』，本身就是可以利用的呢？”

他指向了黑板上的图。

“在参观霓虹国实验室时，一位茶道师不小心打翻了茶水，在宣纸上留下了一片不均匀的水渍。这给了我一个启发。”

“扩散，本身就是不均匀的。等离子体在箍缩过程中的不稳定性，导致的能量密度不均匀，是不是也可以看做一种『扩散』？”

“既然它必然不均匀，我们为什么非要强求它均匀？我们能不能反其道而行之，去主动適应这种不均匀？”

他拿起另一支顏色的粉笔。

“我们可以建立一个动態补偿模型！通过在腔体周围布置高精度的磁场线圈和多个靶点，实时监测等离子体云的密度分布，然后用算法瞬间调整磁场形態，对能量过强的区域进行抑制，对能量不足的区域进行诱导增强！”

“我们追求的，不是静態的均匀，而是动態的、在整个曝光时间內积分效果的『相对均匀』！”

他一边说，一边在黑板上写下了一连串令人头晕目眩的偏微分方程。

那是描述等离子体在电磁场中运动的复杂流体力学模型。

台下的陈默，看到那一串方程，呼吸都急促了。

他飞快地在自己的本子上验算著，越算眼睛越亮。

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