第84章 誓要打破高纯材料技术壁垒! 八零:截胡娇妻,奖励光刻机
秦雪的化学实验室,是整个红花瓣研发大楼里最神秘,也是味道最复杂的地方。
这里二十四小时都响著通风橱的轰鸣声。
秦雪,这位华清化学系的才女,正带领著她的团队,向“造芯”路上第一座技术高峰发起衝锋——光刻胶的本地化。
光刻胶,被誉为半导体工业的“血液”。
没有它,再先进的光刻机,也就是一堆昂贵的废铁。
付成从苏联笔记和索尼资料里,已经推导出了0.8微米工艺所需的正性光刻胶的核心配方。
主要成分包括:一种酚醛树脂作为成膜剂,一种叫做dnq的感光剂,以及相应的溶剂。
理论上,只要把这几样东西,按照正確的比例混合在一起,就能得到他们梦寐以求的光刻胶。
“成功了!”
这天下午,实验室里爆发出了一阵欢呼。
秦雪举著一个棕色的小玻璃瓶,瓶子里装著淡黄色的粘稠液体。
经过上百次的配比试验,她们终於合成出了在粘度、固含量等物理参数上,与资料完全一致的液体。
“太棒了!秦师姐威武!”
“我们终於有自己的光刻胶了!”
团队成员们激动地相互拥抱。
消息很快传遍了整个公司。
任飞、钱立人教授、林为民教授……所有人都涌进了化学实验室。
“快!拿去给张伟他们试试!”任飞激动地说道。
张伟早就在隔壁的超净间里等得望眼欲穿了。
他小心翼翼地接过那个棕色的小瓶子,像是捧著一个刚出生的婴儿。
超净间里,那台从东德淘来的二手光刻机,经过张伟和林为民教授团队几个月的拆解、重装、调试,已经可以勉强运转。
一片从沪市运来的6英寸试验硅片,被送上了涂胶机。
黄色的光刻胶,被均匀地甩在晶圆表面。
烘烤,对准,曝光,显影……
所有人都屏住呼吸,在显微镜前,等待著最终的结果。
显微镜下,一个个微小的电路图形,確確实实地出现在了硅片上。
“成了!真的成了!”张伟尖叫起来,声音都变了调。
然而,付成却在第一时间赶到,他和钱立人教授一起,挤到了显微镜前。
付成的脸色,在看到图形的瞬间,就沉了下来。
“把图形放大到最大倍率。”他冷静地说道。
当技术员將显微镜调到极限时,所有人的笑容都僵在了脸上。
原本应该清晰锐利的线条边缘,布满了毛刺和断点。
许多本该连在一起的线路,中间出现了微小的缺口。
更糟糕的是,这种缺陷,是隨机分布的。
同一片晶圆上,有的地方图形还算完整,有的地方则完全不能看。
“这……这是怎么回事?”秦雪的脸色瞬间变得苍白。
钱立人教授扶了扶眼镜,表情凝重:“是良率问题。而且,是非常严重的良率问题。按照这个图形质量,做出来的晶片,十万个里面,也未必能有一个是好的。”
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