第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破! 不是造拖拉机吗,怎么改重坦了?
第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!
送走沈宏后,江阳和苏筱閒聊片刻。
紧接著。
他便回到书房,开始看书学习。
苏筱没有离开。
而是搬了张小凳子,坐在门外。
然后从隨身的挎包中。
拿出书本。
一虽说苏筱现在已经是江阳的助理。
但却並没有因此。
就放弃原本的研究,反而更加地刻苦和努力。
书房內,江阳看向门外。
——
苏筱十分专注。
不过片刻,人就已经完全沉浸在书本中。
他放下心。
打开瑶光,开始查资料。
接下来的时间。
江阳一边“协助”五院df—2的预研。
一边兼顾其他研究。
在具体方案上。
他也並非单纯的生搬硬套,复製黏贴。
而是能替代就替代。
没有替代的。
——
用瑶光也要想出办法来替代。
毕竟华国的工业基础太薄弱,只能稳扎稳打。
盲目冒进。
只会做出华而不实的东西。
一个月后,半导体研究所。
实验室內。
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。
王寿吾狠狠地挥了挥拳头。
一旁的王大严。
则是朝著江阳竖起一个大拇指,道:“不愧是江教授啊!”
他说完后。
王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:“没错,多亏江教授,才能研製出近接式光刻机!”
“有了它,老大哥和m帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!”
“不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!”
每个人的眼中。
都满是兴奋。
但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样?”
王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μm线宽————”
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。
“使用的光刻胶。”
“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”
他说著说著。
忽然感觉周围非常安静。
抬头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”
“我们现在。”
“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”
听到最后的这句话。
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