几句简单的寒暄过后，一行人换上严实的防尘服，穿过风淋室，进入了研发车间。

一股洁净室特有的、混杂著臭氧和电子设备运转的味道扑面而来。

车间中央，一台巨大的金属构架沉默地矗立著。

它像一头未完工的钢铁巨兽，无数复杂的管线和精密的金属部件裸露在外，几名工程师正像蚂蚁一样，蹲在它的底座旁，专注地进行著调试。

“这就是我们正在研发的分布式投影光刻机。”

贺天成的声音隔著口罩，显得有些发闷，但语气里的那份投入，谁都听得出来。

马宇腾走近几步，目光扫过那些复杂的机械结构和线缆布局。

“进度到哪一步了？”

贺天成领著他走到一旁的操作台，指著屏幕上跳动的数据流。

“按计划，明年能出第一台原型机。机械组装和控制系统的框架基本成型，现在最卡脖子的，是核心零部件。”

他话音一顿，手指向了设备深处一个空置的模组位置。

“尤其是光源，完全依赖进口，人家给什么，我们就得用什么。”

参观结束，眾人回到会议室。

摘下口罩，贺天成脸上那股子技术人特有的执拗和疲惫才显露出来。

马宇腾没绕圈子，直接拋出了一个问题。

“贺总，对於euv技术，你们怎么看？”

贺天成明显愣了一下，旋即苦笑起来，摆了摆手。

“马总，咱们得脚踏实地啊。”

他嘆了口气，像是要把胸中的鬱结之气都吐出来。

“国內的光源技术跟国外差著几代呢。別提euv了，就是现在主流duv用的arf雷射光源模块，我们都造不出来。euv那种东西，在国际上都还没有成熟，对我们来说，太遥远了。”

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马宇腾扶了扶眼镜，镜片后的目光看不出情绪。

他脑中闪过一些被埋藏在记忆深处的零碎信息。

“我听说国內有一种晶体，能產生深紫外雷射，相关技术在国际上是独一份的。”

“这种晶体，能不能用到光刻机光源上？”

贺天成原本有些黯淡的眼睛，瞬间亮了一下。

“马总说的是kbbf晶体？”

他站起身，像是被触动了某个开关，激动地走到会议室的白板前。

“那是科学院陈老团队的成果！他们九六年就用那玩意儿搞出了六倍频技术，能把1064纳米的雷射，硬生生倍频成177.3纳米的深紫外光！”

马宇腾紧跟著追问：“既然有这种好东西，为什么不用它来做光刻机的光源系统？”

“唉！”

贺天成长长嘆了一口气。

“原理上，这种全固体光源比现在主流的雷射等离子体光源（lpp）更稳定，更纯净，是好东西。”

“但实际操作起来，有两个要命的问题。”

“第一，这条路，跟国际主流的lpp光源路径完全是两码事。我们要是用kbbf，就要自己设计研发全套的光源系统，没有任何经验可以借鑑。”

马宇腾没说话，只是静静地看著对方。

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